添加时间:2016-02-14
电压暂降会导致半导体设备制作过程被迫停止,大量产品报废,单次事故经济损失可高达几百至上亿人民币。并且会导致PCW系统水泵意外停机,造成价值上千万元的半导体制造机台因不能及时得到冷却水进行降温而损坏,机台维修一次的费用就高达几十万元,同时会造成很多产品报废,经济损失巨大。另外,超纯水系统和空调系统因为电压暂降停机,也会造成同样影响。